Getriebe bilden die Basis für eine kontinuierliche und erzwungene Rotation. Es wird dabei zwischen langsamer und schneller Rotation unterschieden. Die langsame Rotation findet vor allem bei kleineren und leichten Substraten (unter 30g) Anwendung. Hierbei kann die Anzahl zwischen 8 und 36 Positionen variieren. Die langsame Rota-tion der Substratachse verringert das Wackeln und das Herunterfal-len.

Getriebe mit einer schnelleren Rotation fassen hingegen nur 5 bis 24 Positionen und sind vorzugsweise für mittelschwere Substrate (zwischen 30g und 200g) geeignet. Um die Beschichtungskapazität zu erhöhen sind diese Getriebe sehr flach und leicht gebaut. Für Substrate bis 3000g verringert sich die Anzahl der Positionen auf maximal 16. Aufgrund des hohen Gewichts wird der Aufbau robuster und für lange Substratspieße können zusätzlich Top Plates und Mittelrohre hinzugefügt werden.

Die leichten und flachen Getriebe werden standardmäßig mit einer Abdeckung versehen, jedoch ist das für die größeren Optional.