Substrattische für 2-fache Rotation mit bis zu 18 Planeten, teilweise auf verschiedenen Teilkreisen (z. B. für die gelegentliche Beschichtung größerer Substrate).

Flache Bauweise für maximale Ausnutzung der Beschichtungszone. Modularer Aufbau für
schnellere Wartung. Geringes Gewicht und Drehmoment.

Auf Wunsche doppelte Hitzeschilder zur thermischen Isolation, auswechselbare Verkleidungen und elektrisch isoliert. Vorbereitet mit Kickerstangen und oberer
Lagerplatte für dritte Rotationsachse.

Einbausätze mit Schienensystem und Schnellkupplung für Ihre PVD Anlage.

Chargierwagen mit Kupplung und Bremse sowie Parkstationen zum Vorbereiten der Tische.

Für Informationen und passendes Zubehör, Planetenwellen, Schwerlastgestelle, sowie alle Halterungen aus unserem Programm treten Sie mit uns in Kontakt..